Τα τελευταία χρόνια, η τεχνολογία ημιαγωγών αναπτύχθηκε γρήγορα και η ζήτηση για ταντάλιο που χρησιμοποιείται ως διασκορπισμένη μεμβράνη έχει αυξηθεί σταδιακά. Στα ολοκληρωμένα κυκλώματα, το ταντάλιο τοποθετείται μεταξύ αγωγών πυριτίου και χαλκού ως φράγμα διάχυσης. Μέθοδοι παραγωγής γιαεκτοξεύοντας στόχους τανταλίουπεριλαμβάνουν τη μεταλλουργία πλινθωμάτων (I/M) και τη μεταλλουργία σκόνης (P/M). Οι στόχοι τανταλίου με χαμηλότερες απαιτήσεις κατασκευάζονται γενικά από πλινθώματα τανταλίου. Ωστόσο, σε ορισμένες περιπτώσεις με υψηλότερες απαιτήσεις, η μέθοδος I/M δεν μπορεί να χρησιμοποιηθεί και η μέθοδος μεταλλουργίας σκόνης μπορεί να χρησιμοποιηθεί μόνο για την παραγωγή της. Για παράδειγμα, η μέθοδος I/M δεν μπορεί να παράγει στόχους κράματος λόγω των διαφορετικών σημείων τήξης του τανταλίου και του πυριτίου και της χαμηλής σκληρότητας των ενώσεων του πυριτίου.
Ουσίες που μολύνουν τη συσκευή ημιαγωγών δεν πρέπει να υπάρχουν στο σχηματισμό μεμβράνης. Όταν σχηματιστεί η μεμβράνη επιμετάλλωσης, εάν υπάρχουν ακαθαρσίες στον στόχο τανταλίου (κράμα, ένωση), οι ακαθαρσίες θα εισαχθούν στον θάλαμο επιμετάλλωσης, προκαλώντας την προσκόλληση χονδροειδών σωματιδίων στο υπόστρωμα και βραχυκύκλωμα του κυκλώματος λεπτής μεμβράνης. Ταυτόχρονα, οι ακαθαρσίες μπορεί επίσης να είναι ο λόγος για την αύξηση των σωματιδίων προεξοχής στο λεπτό φιλμ. Τα ακαθαρσιακά αέρια όπως το οξυγόνο, ο άνθρακας, το υδρογόνο και το άζωτο στον στόχο θα προκαλέσουν ανώμαλα φαινόμενα και θα προκαλέσουν προβλήματα στην ομοιομορφία του σχηματιζόμενου φιλμ. Επιπλέον, για τη μέθοδο μεταλλουργίας σκόνης, η ομοιομορφία του εναποτιθέμενου φιλμ είναι συνάρτηση του μεγέθους των κόκκων στο στόχο και όσο λεπτότερος είναι ο κόκκος στο στόχο, τόσο πιο ομοιόμορφο το φιλμ που λαμβάνεται. Επομένως, υπάρχει ανάγκη στην τέχνη για υψηλής ποιότητας σκόνες τανταλίου και στόχους τανταλίου. Επομένως, για να ληφθεί υψηλής ποιότητας σκόνη τανταλίου και στόχος τανταλίου, είναι απαραίτητο να μειωθεί η περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες στη σκόνη τανταλίου και να αυξηθεί η καθαρότητα της σκόνης τανταλίου.
Η Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. μπορεί να παράγεισκόνες τανταλίουδιαφόρων μεγεθών σωματιδίων. Υπό την προϋπόθεση της διασφάλισης υψηλής ποιότητας, η εταιρεία μας διαθέτει μια πλήρη γκάμα σκονών μετάλλου τανταλίου, που μπορεί να καλύψει τις ανάγκες διαφόρων πελατών σε έρευνα και ανάπτυξη, δοκιμή, παραγωγή, κατανάλωση κ.λπ.
