Ποιοι τύποι υλικών στόχου υπάρχουν - Μέρος πρώτο

Ποια είναι τα υλικά-στόχοι;

Ο στόχος είναι στην πραγματικότητα μια ευρεία έννοια. Υπάρχουν τρεις τρόποι ταξινόμησης υλικών-στόχων:

1. Σύμφωνα με τις εξωτερικές διαστάσεις, μπορεί να χωριστεί σε κυλινδρικούς, ορθογώνιους, τετράγωνους στόχους πλάκας και στόχους σωλήνα. Σύμφωνα με το υλικό, τα υλικά-στόχοι μπορούν να χωριστούν σε μεταλλικούς στόχους, πολυμερείς κεραμικούς μη μεταλλικούς στόχους και στόχους από κράμα κ.λπ.

2. Σύμφωνα με το υλικό, τα υλικά-στόχοι μπορούν να χωριστούν σε συμβατικούς στόχους μετάλλων, στόχους από πολύτιμα μέταλλα, στόχους μετάλλων σπανίων γαιών, μη μεταλλικούς στόχους, στόχους διασκορπισμού από κράμα, κεραμικούς στόχους εκτόξευσης κ.λπ.

3. Σύμφωνα με το πεδίο εφαρμογής, μπορεί να χωριστεί σε στόχους για ημιαγωγούς, στόχους για πάνελ οθόνης, στόχους για ηλιακά κύτταρα, στόχους για μαγνητική εγγραφή κ.λπ.

Ταξινόμηση ανά σχήμα στόχου

Οι κοινοί στόχοι είναι ως επί το πλείστον τετράγωνοι στόχοι και στρογγυλοί στόχοι, οι οποίοι είναι σταθεροί στόχοι. Στη λειτουργία επίστρωσης, το μαγνητικό πεδίο που δημιουργείται από τον κυκλικό μόνιμο μαγνήτη στην επιφάνεια του στόχου είναι δακτυλιοειδές, θα εμφανιστεί ανομοιόμορφη διάβρωση, η ομοιομορφία πάχους του διασκορπισμένου φιλμ δεν είναι καλή και η απόδοση χρήσης του στόχου είναι μόνο περίπου 20 % έως 30%. Ο στόχος κοίλου σωλήνα που προωθείται αυτή τη στιγμή μπορεί να περιστρέφεται γύρω από ένα συγκρότημα μαγνήτη σταθερής ράβδου για ορισμένο χρονικό διάστημα και η επιφάνεια στόχου 360 μοιρών μπορεί να χαραχθεί ομοιόμορφα, γεγονός που έχει προφανή πλεονεκτήματα και αυξάνει το ποσοστό χρήσης στο 80%.

Ταξινόμηση ανά υλικό στόχο

Συμβατικοί μεταλλικοί στόχοι: